Interferómetro Verifire-MST

Verifire MST
El Sistema interferométrico Verifire™ MST permite mediciones rápidas y de alta exactitud de superficies planas o esféricas y mediciones del frente de onda transmitido en componentes y sistemas ópticos. El software de procesamiento y análisis, propietario de ZYGO´s, tiene un amplio rango de opciones operacionales y herramientas de análisis soportando una capacidad de medición sin par.

El interferómetro Verifire™ MST tiene aplicación dual. Puede ser usado para todas las aplicaciones comunes de interferometría, como medición de variaciones del frente de onda entre dos superficies, conocida como cavidad de doble superficie.

El Verifire™ MST está diseñado para aplicaciones especiales en las que dos planos paralelos sin recubrimiento producen un interferograma de dos capas (una cavidad de tres superficies), lo que resulta un problema para los algoritmos de los softwares comunes de interferometría de corrimiento de fase. ZYGO ha solucionado este problema empleando el corrimiento de la longitud de onda de la fase e interferometría de corrimiento de fase con transformada de Fourier (FTPSI), patentado por ZYGO.

El Verifire™ MST puede medir cavidades de dos superficies, tres superficies y hasta 4 cavidades, así como realizar mediciones de homogeneidad. Puede generar datos para todas las superficies o solamente para la superficie de interés, FTPSI también elimina los artefactos.